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電動(dòng)平板真空熱壓機(jī)
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500℃、最大壓力30T
型號(hào)：
VHP-30T-4（內(nèi)部名稱：熱壓機(jī)）
產(chǎn)品概述：
VHP-30T-4是一款電動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī)，針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理最大樣品尺寸為300mm x 300mm。儀器最高工作溫度為500℃，在此溫度下可對(duì)樣品施加的最大壓力為30T。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
基本參數(shù)

· 電源：208 - 240VAC, 50/60 Hz 單相，總功率：5KW

· 兩塊300mm x300mm加熱平臺(tái)，采用耐熱模具鋼制成，最高可承受溫度為500℃

· 12根加熱管布置在上下加熱平臺(tái)的內(nèi)部，以達(dá)到快速加熱的效果

· 兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái)，可設(shè)置30段升降溫程序
上下加熱平臺(tái)和真空腔體

· 上下加熱平臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi)，上下加熱平臺(tái)尺寸：300*300mm

· 上下加熱板平面度<0.03mm（在有效面積250mm*250mm范圍內(nèi)）

· 真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形），真空度可以達(dá)到10-2 torr。

· 內(nèi)部腔體尺寸為：614mm(L) x574mm(W) x 514mm(H)

· 可放入樣品最大尺寸：長*寬*高=300*300*30mm

· 真空腔體前端有一直徑為φ150mm的觀察窗口

熱壓機(jī)圖片.jpg

· 一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在真空腔體上，用于觀察腔室內(nèi)真空度。預(yù)留的KF16接口可選擇安裝數(shù)顯真空計(jì)

· 腔體左側(cè)面板含有兩個(gè)φ12的水管接頭，用于連接水冷設(shè)備，一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個(gè)球閥控制進(jìn)氣的通斷

· 腔體背面有兩個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并分別通過一個(gè)球閥控制出氣的通斷

· 腔體右側(cè)面有一個(gè)KF25和一個(gè)KF40的抽真空接口，方便客戶匹配各種型號(hào)的真空系統(tǒng)

熱壓機(jī)圖片1.jpg熱壓機(jī)圖片2.jpg
溫控系統(tǒng)

· 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為±1℃，500度恒溫時(shí)的溫度波動(dòng)±10℃，,分別獨(dú)立控制兩個(gè)加熱平臺(tái)。

· 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)。

· 最高工作溫度為：500℃（<30 min）

· 最快升溫速率： 5℃/min

· 軟件和PC接口安裝在控溫儀表上，可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中（另購）。

熱壓機(jī)3.jpg熱壓機(jī)4.jpg
壓力控制系統(tǒng)

·最大壓力：30T（30000kg）

·壓力控制系統(tǒng)配置電動(dòng)油壓機(jī)

·油缸直徑為 Φ110 mm；

·油缸行程為 40 mm；

·電動(dòng)油壓機(jī)帶手動(dòng)和自動(dòng)兩種工作模式；

·在自動(dòng)加壓模式下，帶自動(dòng)恒壓功能，恒壓精度：±500N（±50kg）。

·壓力顯示范圍：100-30000Kg

·壓力控制范圍：100-30000Kg
·恒壓時(shí)間設(shè)定范圍：1-9999min
水冷板系統(tǒng)

·兩個(gè)水冷板分別設(shè)置在上下加熱板上，在真空腔體內(nèi)部采用不銹鋼軟管進(jìn)行連接，腔體外部采用透明PVC水管連接水冷機(jī)。

·可選購本公司循環(huán)冷水機(jī)進(jìn)行冷卻

熱壓機(jī)777.jpg
真空系統(tǒng)GZK-103G（選配）


· 環(huán)境溫度5~32℃，

· 空氣相對(duì)濕度≤80%，

· 工作電電壓：220V±10%  50~60HZ 

· 功率：1KW

· 系統(tǒng)極限真空度：1.0X10-4Pa

· 外形尺寸：600 X600 X 750mm

圖片1.png

·主要配置：

·RVP-4機(jī)械泵：

· 抽氣速率：4L/S

· 電機(jī)功率：400W  

· 極限壓強(qiáng)6X10-2Pa

·F-100/110分子泵：

· 抽氣速率：100L/S

· 極限壓強(qiáng)：6X10-6Pa

· 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min

· 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分

· 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷

·分子泵控制電源：

· 電壓：200~240V； 

· 輸出功率：250W

· 加速時(shí)間：3分鐘

· 輸出頻率：高速704Hz±10%，低速430 Hz±10%
水冷設(shè)備（選配）

· 型號(hào)：KJ-5000

· 工作電壓：AC 220V 50HZ

· 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

· 壓縮機(jī)功率：300W，水箱容量：6L

· 最大流量：16L/min，凈重：24 Kg

· 外形尺寸：550*280*430mm

熱壓機(jī)水冷.jpg
外形尺寸

·700mm(L) x800mm(W) x 1640mm(H)

熱壓機(jī)外形.jpg
重量

·約510Kg
質(zhì)保

· 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

·  特別提示：耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

注意事項(xiàng)

· 不可過壓過溫使用，最高溫度為500度，最高壓力30T。


· 加熱前請(qǐng)務(wù)必通上水冷，防止損壞壓力機(jī)，使用前請(qǐng)檢查水冷機(jī)的水位情況及水冷機(jī)是否漏水。


· 現(xiàn)場(chǎng)請(qǐng)留有工作人員，防止突發(fā)事件發(fā)生。


· 保持整個(gè)機(jī)器的清潔。防止粉塵，最好將機(jī)器放在一個(gè)無粉塵的環(huán)境中工作。


· 當(dāng)收到設(shè)備后，在使用設(shè)備前請(qǐng)將上下加熱板上的防銹油用酒精或汽油等有機(jī)溶劑擦拭干凈。


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